М — Д — П-СТРУКТУРА

МДП-СТРУКТУРА (структура металл — диэлектрик — полупроводник), конденсатор, состоящий из пластины полупроводника, слоя диэлектрика и металлич. электрода. При зарядке конденсатора электропроводность полупроводника изменяется вблизи границы раздела с диэлектриком вследствие изменения концентрации носителей заряда. На этом основана работа ряда приборов.

Рис. Схема МОП-транзистора.

Наиболее распространён кремниевый МОП-т р а н з и с т о р (металл — окисел металла — полупроводник). На подложке Si р-типа (рис.) окислением создаётся тонкий диэлектрич. слой двуокиси SiО2 (толщиной 1000 Å) и наносится металлич. электрод (з а т в о р). Под поверхностью диэлектрика в Si р-типа создаются на нек-ром: расстоянии друг от друга две области с электронной проводимостью, к к-рым подводятся металлич. контакты (исток и сток). Если к затвору приложить положит. потенциал, то все эл-ны под ним в Si (р) притянутся к тонкому слою диэлектрика, создав там проводящий инверсионный слой n-типа. В результате между стоком и истоком образуется канал, по к-рому течёт ток. Подобная система эквивалентна вакуумному триоду (исток — катод, сток — анод, затвор — сетка). Она может служить также элементом памяти. Для этого диэлектрик делается двухслойным — тонкий слой SiО2 и нитрида кремния. Электрич. заряд, введённый в Si, можно (с помощью нек-рых физ. процессов) перевести из Si в ловушки на границе окисел — нитрид. В этих ловушках заряд сохраняется длительно после снятия напряжения между затвором и подложкой (запоминание). Это состояние можно считывать по изменению свойств приповерхностной области подложки. М — Д — П-с.— один из базовых элементов твердотельной электроники. Они служат также для изучения поверхностных свойств полупроводников (вблизи его границы с диэлектриком).

• Мейндл Дж., Элементы микроэлектронных схем, «УФН», 1979, т. 127, в. 2; 3 и С. М., Физика полупроводниковых приборов, М., 1973.

Спонсор статьи: Конструкторы лего наиболее известны среди развивающих игр. Лего было изобретено не так давно, однако быстро завоевало популярность. Сейчас можно найти множество лего систем от самых простых до невероятно сложных.

Быстрый поиск