AllPhysics.ru

Основные ограничения, свойственные планарному циклу производства приборов, связаны с изготовлением шаблона и травлением (проявлением) рисунка, так как тонкопленочная технология хорошо освоена и глубина залегания слоев объемных приборов может контролироваться с необходимой точностью. В настоящее время электронно-лучевая литография позволяет получать ширину линий до 300 нм с резкостью краев до 10 нм.
Дальнейший прогресс при использовании стандартного технологического процесса вряд ли возможен вследствие рассеяния электронов в подложке, однако разработка специальных методов электронно-лучевой литографии позволяет надеяться на получение еще меньших размеров. Ионно-лучевая литография обладает большими возможностями по сравнению с электронно-лучевой, и поэтому при ее использовании можно ожидать освоения в обычном технологическом процессе размеров менее 10 нм. Так как с помощью ионного пучка можно выполнять операцию плазменного травления после прорисовки рисунка, одновременно решается проблема управляемого травления.

В настоящее время разрешение при наблюдении деталей приборов с помощью электронных микроскопов меньше предельных размеров, связанных с технологическими ограничениями, а возможности исследования свойств материалов, из которых изготавливаются приборы, также приближаются к аналогичным пределам.
Из предыдущего обсуждения можно сделать вывод, что в ближайшие 10—20 лет будут достигнуты предельные размеры, соответствующие фундаментальным физическим ограничениям. Кроме того, следует ожидать в ближайшие десятилетия изобретения, изготовления и освоения новых типов приборов, основанных на объемных эффектах. Эти приборы выйдут за рамки традиционной микроэлектроники и будут использоваться для химического анализа, в качестве чувствительных элементов и для выполнения биологических функций.

Однако существует достаточно четкая граница между размером естественной природной единицы — атома и размерами, например, начиная с 1000 атомов, при которых описание макроскопических физических явлений перестает быть справедливым. Это молекулярная шкала. Несмотря на то, что природа при образовании живых клеток использовала широкий набор разнообразных и сложных связей именно на молекулярном уровне, человек не в состоянии повторить подобное конструирование даже для более тривиальных целей. Это связано с непониманием явлений, происходящих на молекулярном уровне и отсутствием их научной трактовки. Можно надеяться, что с помощью микроэлектронных приборов и устройств, работающих на известных принципах, в недалеком будущем можно будет понять эти явления, открывающие путь к освоению молекулярной шкалы.

Спонсор статьи: Свадьба - очень ответственный момент в жизни каждого человека. Для проведения этого торжественного мероприятия необходимо множество вещей: свадебные платья, машины на свадьбу и многое другое. Если в Вас свадьба Харьков, то всё необходимое можно заказать через интернет.